[发明专利]超高真空低温样品台

摘要

本发明公开了一种超高真空低温样品台，属于真空设备仪器领域。该装置包括机械提拉设备、低温延长管、滑动电极、连接固定帽、样品台体和可拆卸屏蔽罩，机械提拉设备向上与低温冷头通过螺丝进行固定；机械提拉设备向下通过螺丝与低温延长管进行固定；低温延长管是个空心无氧铜管，低温延长管向下通过螺丝与滑动电极进行固定；滑动电极向下通过螺丝与连接固定帽进行固定；连接固定帽与下方样品台体进行活动连接；样品台体通过螺丝与可拆卸屏蔽罩进行固定。本发明只需要一个旋转自由度和一个线性移动的自由度，即可实现在真空中对样品台进行机械、热学、电学的连接与拆卸，同时样品台样品平面可以旋转以及变温，能够在不同方向上对样品进行测量。

主权项

1.一种超高真空低温样品台，其特征在于，包括机械提拉设备(2)、低温延长管(3)、滑动电极(4)、连接固定帽(5)、样品台体(6)、可拆卸屏蔽罩(7),机械提拉设备(2)向上与低温冷头(1)通过螺丝进行固定；机械提拉设备(2)向下通过螺丝与低温延长管(3)进行固定；低温延长管(3)是个空心无氧铜管，低温延长管(3)向下通过螺丝与滑动电极(4)进行固定；滑动电极(4)向下通过螺丝与连接固定帽(5)进行固定；连接固定帽(5)与下方样品台体(6)进行活动连接；样品台体(6)通过螺丝与可拆卸屏蔽罩(7)进行固定，/n其中，滑动电极(4)包括滑动电极座(11)、滑动电极盘(12)和滑动电极杆(13)，其中滑动电极盘(12)上固定有探针阵列；滑动电极座(11)固定四根滑动电极杆(13)，这四根滑动电极杆(13)与滑动电极盘(12)弹性连接；/n机械提拉设备(2)包括钢丝(8)组和滑轮组(10),滑轮组(10)通过螺母机械固定于低温冷头上(1)；一根钢丝(8-1)一端绕在滑轮组(10)上，另一端向上穿过超高真空区域，并连接在超高真空线性位移导入器上(9)；另外两条同样长度的钢丝(8-2)分别绕在滑轮组(10)的中间两个轮子上，另一端通过螺母固定在滑动电极盘(12)上；/n样品台体(6)包括样品连接头(18)、耳朵结构(19)、接线导向杆1(20)、接线导向杆2(21)、样品连接壳(22)、步进电机(23)、样品台(24)、探针座(25)、PAD电极组件(26)、加热器(27)、铜辫转接板(28)、铜辫组(29)、铜辫压块(30)和温度传感器(31)，具体连接方式为，样品连接头(18)带有耳朵结构(19)，并且附有两根接线导向杆(20)(21)，作为整体通过连接板(32)和样品连接壳(22)固定；步进电机(23)固定于样品连接壳(22)上；样品台(24)固定于步进电机(23)上；样品固定于样品台(24)背离低温冷头(1)的一面；探针座(25)固定于样品台(24)，探针座(25)上有弹簧探针阵列；PAD电极组件(26)固定于样品连接头(18)；加热器(27)与样品连接壳(22)固定连接；铜辫转接板(28)固定于样品连接壳(22)，铜辫组(29)一端通过铜辫压块(30)固定在样品台上，另一端固定在铜辫转接板(28)上获得低温；温度传感器(31)固定在样品台(24)上。/n