[发明专利]光晶体管结构的柔性紫外探测器

摘要

本发明涉及提出一种无机钙钛矿光晶体管结构的紫外探测器。基底(1)为玻璃基底，在基底(1)上制备CsPbX₃薄膜(2)作为有源层，在CsPbX₃薄膜(2)表面制备同物质的CsPbX₃量子点(5)掺杂的PMMA有机层(4)作为栅绝缘层，以此为紫外光感应窗口；薄膜晶体管的源极(3.1)、漏Au电极(3.2)分别位于CsPbX₃薄膜(2)上的两边，FTO栅极(6)位于CsPbX₃薄膜(2)的上的中间，在薄膜晶体管的源极(3.1)、漏Au电极(3.2)和FTO栅极(6)调制下，获得光生载流子分离、转换的电信号读取、放大的集成功能，以实现高响应度的紫外信号探测。光晶体管探测器可采用如图1所示的顶栅结构，也可以采用如图2所示的底栅结构。以上两种结构可制备在玻璃基板上，也可以制备在柔性基板上形成底栅或顶栅结构的柔性光晶体管紫外探测器。

主权项

1.一种光晶体管结构的柔性紫外探测器，其特征在于，基底(1)为玻璃基底，在基底(1)上制备CsPbX₃薄膜(2)作为有源层，在CsPbX₃薄膜(2)表面制备同物质的CsPbX₃量子点(5)掺杂的PMMA有机层(4)作为栅绝缘层，以此为紫外光感应窗口；薄膜晶体管的源极(3.1)、漏Au电极(3.2)分别位于CsPbX₃薄膜(2)上的两边，FTO栅极(6)位于CsPbX₃薄膜(2)的上的中间，在薄膜晶体管的源极(3.1)、漏Au电极(3.2)和FTO栅极(6)调制下，获得光生载流子分离、转换的电信号读取、放大的集成功能，以实现高响应度的紫外信号探测；或，基底(1)为玻璃基底，在基底(1)上制备FTO导电薄膜层作为FTO栅极(6)，在FTO栅极(6)上制备CsPbX₃量子点(5)掺杂的PMMA有机层(4)作为栅绝缘层，在栅绝缘层上旋涂同质的CsPbX₃薄膜(2)为有源层，源极(3.1)、漏Au电极(3.2)分别位于CsPbX₃薄膜(2)的两边，在薄膜晶体管的源极(3.1)、漏Au电极(3.2)和FTO栅极(6)调制下，获得光生载流子分离、转换的电信号读取、放大的集成功能，以实现高响应度的紫外信号探测。