[发明专利]一种半导体薄膜材料有效
| 申请号： | 201710841797.1 | 申请日： | 2017-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN107604333B | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 郑之永;谢致薇;张雅丽;杨元政;许佳雄 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;B01J23/86 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张春水;唐京桥 |
| 地址： | 510062 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本申请属于光催化材料制备领域，具体涉及一种半导体薄膜材料。本发明所提供的半导体薄膜材料由磁控溅射法在衬底的表面交替沉积CuCrO |
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| 搜索关键词： | 一种 半导体 薄膜 材料 | ||
【主权项】：
暂无信息
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