[发明专利]三维空间光源系统及相关的光测量设备在审
| 申请号： | 201710847966.2 | 申请日： | 2017-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN109520621A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王立峰;叶薇薇;李宇 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/447 | 分类号： | G01J3/447;G01J3/10 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的各实施例涉及一种三维空间光源系统及其相应的光测量设备，其中三维空间光源系统包括：光源；以及彼此独立的多个光路，被配置为分别独立地耦合到所述光源；其中，所述多个光路进一步包括中间光路和多个外围光路，所述多个外围光路被配置为围绕所述中间光路进行布置并且能够作为次级光源进行输出。由此，本发明的三维空间光源系统只需一个光源即可满足椭圆偏振测量设备所需的多路光源需求，且结构简单、装调方便、易于维护。 | ||
| 搜索关键词： | 光路 三维空间 光源系统 光源 光测量设备 外围 椭圆偏振测量 彼此独立 次级光源 光源需求 耦合到 多路 装调 配置 输出 维护 | ||
【主权项】：
1.一种三维空间光源系统，其特征在于，包括：光源(10)；以及彼此独立的多个光路(20、30、40、50、60)，被配置为分别独立地耦合到所述光源；其中，所述多个光路进一步包括中间光路(20)和多个外围光路(30、40、50、60)，所述多个外围光路被配置为围绕所述中间光路(20)进行布置并且能够作为次级光源进行输出。
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