[发明专利]一种基于液晶电光波导的光学交叉互连器件

摘要

本发明公开了一种基于液晶电光波导的光学交叉互连器件，包括光学交叉互连器件本体，所述光学交叉互连器件本体由基于液晶电光波导的光开关阵列组成，各个所述光开关通过驱动电压控制液晶电光波导的形成和消失，切换光束传播路径，实现N x N多端口光信号的交换。本发明在保证实现与MEMS器件相当的光学损耗、端口扩展性和切换速度的基础上，具有更小的器件尺寸、低驱动电压和能耗、良好的单片集成，以及更强的鲁棒性等优势，可以实现高性能的多端口光交换，以及良好的单片集成，适用于数据中心的交换应用，从而具有推广应用价值。

主权项

一种基于液晶电光波导的光学交叉互连器件，包括光学交叉互连器件本体，其特征在于：所述光学交叉互连器件本体由基于液晶电光波导（103）的光开关（1）阵列组成，每个所述光开关（1）可配置连接一个输入端口（2）和一个输出端口（3），所述光学交叉互连器件本体的表层设为上层SiO2层（4），所述上层SiO2层（4）的下方设有共地层（5），所述共地层（5）的下方设有上层取向膜层（6），所述上层取向膜层（6）的下方设有液晶层（7），所述液晶层（7）的下方设有下层取向膜层（8），所述下层取向膜层（8）的下方设有绝缘层（11），所述绝缘层（11）的内部设有驱动电极层（9）、金属防护层（10）和CMOS电开关阵列层（12），所述驱动电极层（9）与CMOS电开关阵列层（12）平行间隔设置，所述驱动电极层（9）与CMOS电开关阵列层（12）之间设有金属防护层（10），所述CMOS电开关阵列层（12）设置在硅基底（13）的上表面上。