[发明专利]一种可进行连续XRD在线监测的卷对卷MOCVD设备在审
| 申请号： | 201710859930.6 | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107607563A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 金成超;黄惠良;童话;俞梦婕 | 申请（专利权）人： | 上海剑度光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种可进行连续XRD在线监测的卷对卷MOCVD设备，由收放带系统、XRD系统、反应组件和驱动电机组成，收放带系统由放带装置和收带装置组成，放带装置由放带室和放带轮组成，收带装置由收带室和收带轮组成，收带轮与驱动电机的转轴连接，不锈钢带材的两端分别绕制在放带轮和收带轮上，放带轮上的不锈钢带材依次通过反应组件和XRD系统后与收带装置连接，收放带系统、XRD系统和反应组件之间通过连接部件固定连接。与现有技术相比，本发明可以对带材进行原位的监测，并且对带材没有损伤，可以实现边生长边测量，得到带材成分和结构上的实时信息反馈，便于对组分进行实时调节，有助于提高带材的良率和产率，提高经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 进行 连续 xrd 在线 监测 mocvd 设备 | ||
【主权项】：
一种可进行连续XRD在线监测的卷对卷MOCVD设备，其特征在于：由收放带系统、XRD系统、反应组件和驱动电机组成，所述收放带系统由放带装置和收带装置组成，所述放带装置由放带室和放带轮组成，所述收带装置由收带室和收带轮组成，所述收带轮与驱动电机的转轴连接，不锈钢带材的两端分别绕制在所述放带轮和所述收带轮上，所述放带轮上的所述不锈钢带材依次通过反应组件和所述XRD系统后与所述收带装置连接，所述收放带系统、所述XRD系统和所述反应组件之间通过连接部件固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海剑度光电科技有限公司，未经上海剑度光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710859930.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种违禁物品识别设备及方法、X光行李安检系统
- 下一篇：电子背散射衍射仪
