[发明专利]一种柔性电容器的制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性电容器的制备方法，首先清洗柔性衬底，再将聚酰亚胺和环氧树脂混合，向其中加入有机溶剂乙二醇甲醚并搅拌均匀，所述聚酰亚胺、环氧树脂、乙二醇甲醚的质量比为10.650.35；再将清洗后的柔性衬底真空吸附在匀胶台上，用混合溶液均匀涂覆在柔性衬底上，得到聚酰亚胺/环氧树脂复合膜；复合膜分别于50～70℃、160～200℃加热，固化聚酰亚胺/环氧树脂复合膜，待温度降至80℃取出，再于复合膜上面利用掩膜版制备金属电极，制得柔性电容器。本发明的电容量适中(80～90pF测试频率为100kHz)，且器件稳定性好，制备工艺简单，为柔性电子设备的研发提供了优良的元器件基础。

主权项

一种柔性电容器的制备方法，具体步骤如下：(1)清洗柔性衬底将柔性衬底商用铜箔放入丙酮中超声清洗20分钟，用去离子水冲洗后烘干，将烘干后的柔性衬底放入酒精中清洗20分钟，用去离子水冲洗后用氮气吹干；(2)制备聚酰亚胺/环氧树脂复合体系用电子天平称取聚酰亚胺和环氧树脂，随后将其混合，向其中加入有机溶剂乙二醇甲醚并搅拌均匀，完成后置入超声清洗器中超声10～20分钟，使溶液混合均匀，再将混合溶液静置，去除振荡过程中产生的气泡；所述聚酰亚胺、环氧树脂、乙二醇甲醚的质量比为1：0.65：0.35；(3)将步骤(1)清洗后的柔性衬底真空吸附在匀胶台上，使柔性衬底固定，用滴管将步骤(2)中的混合溶液均匀涂覆在柔性衬底上，低转速0.5～0.8千转/分钟，旋涂9～15秒，高转速3～6千转/分钟，旋涂40～60秒，得到聚酰亚胺/环氧树脂复合膜；(4)将步骤(3)旋涂聚酰亚胺/环氧树脂复合膜的制品放入电热干燥箱中，蒸发有机溶剂乙二醇甲醚，在50～70℃温度下加热1.5～3小时，随后在160～200℃温度下加热1～3小时，固化聚酰亚胺/环氧树脂复合膜；(5)将步骤(4)的制品温度降至80℃以下时，取出；(6)步骤(5)制品的聚酰亚胺/环氧树脂复合膜上面利用掩膜版制备金属电极，制得柔性电容器。