[发明专利]锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法在审
| 申请号： | 201710859991.2 | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107742579A | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 李玲霞;郑浩然;于仕辉;陈思亮;孙正 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | H01G7/06 | 分类号： | H01G7/06;C23C14/28;C23C14/08 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所12201 | 代理人： | 张宏祥 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法，先按BaZr0.2Ti0.8O3的化学计量比，称取原料BaCO3、ZrO2和TiO2，于1200℃烧制BaZr0.2Ti0.8O3即BZT靶材；再将Pt‑Si衬底放入脉冲激光沉积制品台上，将脉冲激光沉积系统的本底真空抽至P＜4.0×10‑4Pa，然后加热衬底至350～750℃；打开进气阀，向系统中通入氧气，在Pt‑Si衬底上沉积得到厚度为150‑300nm的BaZr0.2Ti0.8O3薄膜；再在BaZr0.2Ti0.8O3薄膜上面利用掩膜版制备金属电极，制得锆钛酸钡薄膜压控变容管。本发明锆钛酸钡薄膜压控变容管的调谐率≥60％，测试频率为100kHz，且器件稳定性好，制备工艺简单、电学性能优良，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 钛酸钡 薄膜 压控变容管 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法，具体步骤如下：(1)采用固相烧结法制备BZT靶材按BaZr0.2Ti0.8O3的化学计量比，称取原料BaCO3、ZrO2和TiO2，充分混合后压制成型为坯体，坯体置于电炉中于1200℃烧制BaZr0.2Ti0.8O3即BZT靶材；(2)将清洁干燥的Pt‑Si衬底放入脉冲激光沉积制品台上，靶基距为4～10cm；(3)将脉冲激光沉积系统的本底真空抽至P＜4.0×10‑4Pa，然后加热衬底至350～750℃；(4)打开进气阀，向步骤(3)系统中通入氧气，氧气压强为0.8～60Pa，在Pt‑Si衬底上沉积得到厚度为150‑300nm的BaZr0.2Ti0.8O3薄膜；(5)步骤(4)停止后，待衬底温度降至100℃以下时，取出制品；(6)在BaZr0.2Ti0.8O3薄膜上面利用掩膜版制备金属电极，制得锆钛酸钡薄膜压控变容管。
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