[发明专利]一种压阻式MEMS加速度芯片及其制作方法有效
| 申请号： | 201710861942.2 | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107643424B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 刘智辉;李玉玲;王明伟;宋尔冬;田雷;程鑫;吴佐飞;吴紫峰;谌福华;程颖 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;G01P15/08 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 毕雅凤 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种压阻式MEMS加速度芯片及其制作方法,涉及加速度传感器领域,为了解决加速度计的横向输出大、横向灵敏度比无法满足应用需求的问题。质量块通过多条敏感梁和多条支撑梁的连接固定于固支框中心；多条敏感梁对称式分布在质量块与固支框之间，且敏感梁的上表面、质量块的上表面和固支框的上表面位于同一平面；多条支撑梁对称式分布在质量块与固支框之间，且支撑梁的下表面、质量块的下表面和固支框的下表面位于同一平面。对硅片进行清洗和热氧化；进行力敏电阻的掺杂；清除连接孔的氧化层；覆盖金属层；连接惠斯通电桥；将敏感梁减薄至目标深度；将支撑梁减薄至目标深度。本发明适用于测量加速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压阻式 mems 加速度 芯片 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种压阻式MEMS加速度芯片，其特征在于，包括多条支撑梁(1)、多条敏感梁(2)、质量块(3)和固支框(4)；多条支撑梁(1)的几何尺寸相同，多条敏感梁(2)的几何尺寸相同；质量块(3)通过多条敏感梁(2)和多条支撑梁(1)的连接固定于固支框(4)中心；多条敏感梁(2)对称式分布在质量块(3)与固支框(4)之间，且敏感梁(2)的上表面、质量块(3)的上表面和固支框(4)的上表面位于同一平面；多条支撑梁(1)对称式分布在质量块(3)与固支框(4)之间，且支撑梁(1)的下表面、质量块(3)的下表面和固支框(4)的下表面位于同一平面。
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