[发明专利]减压干燥装置和减压干燥方法

摘要

本发明提供一种能够减轻基板的面内的涂敷层的减压干燥速度的不均的减压干燥装置。本发明的减压干燥装置，包括：处理容器，其收纳形成有包含有机材料和溶剂的涂敷层的基板；在上述处理容器的内部从下方保持上述基板的基板保持部；与上述处理容器的排气口连接，将上述处理容器的内部减压的减压机构；和对从由上述基板保持部保持的上述基板的上表面附近向上述处理容器的排气口去的气流进行限制的气流限制部，上述气流限制部包括：在由上述基板保持部保持的上述基板的侧方遮挡气流的侧壁部；和在由上述基板保持部保持的上述基板的上方遮挡气流的顶部。

主权项

一种减压干燥装置，其特征在于，包括：处理容器，其收纳形成有包含有机材料和溶剂的涂敷层的基板；在所述处理容器的内部从下方保持所述基板的基板保持部；与所述处理容器的排气口连接，对所述处理容器的内部进行减压的减压机构；和限制从由所述基板保持部保持的所述基板的上表面附近向所述处理容器的排气口去的气流的气流限制部，所述气流限制部包括：在由所述基板保持部保持的所述基板的侧方遮挡气流的侧壁部；和在由所述基板保持部保持的所述基板的上方遮挡气流的顶部。