[发明专利]光传感装置有效

专利信息
申请号: 201710864165.7 申请日: 2017-09-22
公开(公告)号: CN109148492B 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 郑允玮;朱益兴;黄胤杰;周俊豪;李国政;黄薰莹;陈信吉 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 冯志云;王芝艳
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 提供一种光传感装置的结构及制造方法。此光传感装置包含半导体基底和在半导体基底中的光感测区域。光传感装置也包含在半导体基底上方且与光感测区域对齐的滤光元件。滤光元件具有第一部分及第二部分,且第一部分位于第二部分与光感测区域之间。光传感装置还包含在半导体基底上方且在滤光元件的第一部分旁边的遮光元件。此外,光传感装置包含在遮光元件上且在滤光元件的第二部分旁边的介电元件。遮光元件的顶部宽度大于介电元件的底部宽度。
搜索关键词: 传感 装置
【主权项】:
1.一种光传感装置,包括:一半导体基底;一光感测区域,位于该半导体基底中;一滤光元件,位于该半导体基底上且与该光感测区域对齐,其中该滤光元件具有一第一部分及一第二部分,且该第一部分位于该第二部分与该光感测区域之间;一遮光元件,位于该半导体基底上且在该滤光元件的该第一部分旁边;以及一介电元件,位于该半导体基底上且在该滤光元件的该第二部分旁边,其中该遮光元件的一顶部宽度大于该介电元件的一底部宽度。
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