[发明专利]具有抗菌生物活性MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201710864169.5 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN108048807B | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 徐江;孙腾腾;姚凡 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/10 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔;杨文晰 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有抗菌生物活性MoO3‑SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，涉及双阴极等离子溅射沉积和离子氧化复合工艺以及涂层材料的结构设计与选材领域；本发明采用的双阴极等离子溅射沉积技术参数为：靶材电压800V~1000V,工件电压250V~350V，靶材与工件间距10mm~20mm,工作气压25Pa~40Pa，沉积温度750℃~950℃，沉积时间3.0h~5.0h；采用的离子氧化工艺参数为：靶材电压650~750V，工件电压250V~350V，靶材与工件间距10mm~20mm，工作气压25Pa~40Pa，O2分压0.1Pa~1.0Pa，氧化试剂1.0h~2.0h；工件材料为海洋船体用各类不锈钢；本发明方法制备的MoO3‑SiO2纳米晶复合涂层具有高硬度、高韧性以及优异的腐蚀抗力和抗微生物腐蚀能力，能明显提高用于海洋船体用各类不锈钢的耐磨性、抗腐蚀性能和抗菌性能。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 抗菌 生物 活性 moo3 sio2 纳米 复合 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有抗菌生物活性MoO3‑SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：a.首先利用双阴极等离子溅射Mo‑Si层，工艺参数如下：靶材电压：800V~1000V；工件电压：250V~350V；靶材与工件间距：10mm~20mm；工作气压：25Pa~40Pa；沉积温度：750℃~950℃；沉积时间：3.0h~5.0h；b.其次进行等离子氧化，工艺参数如下：氧化电压：650V~750V；工件电压：250V~350V；氧化温度：450℃~600℃；工作气压：25Pa~40Pa；氧分压：0.1Pa~1Pa；氧化时间：1.0h~2.0h。
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