[发明专利]涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器

摘要

本发明提供一种能够放宽液滴在扫描方向上的着落位置的容许误差的涂敷装置。该涂敷装置具有包含多个喷头的排出单元，该喷头在第一方向上排列设置有多个喷嘴；保持基板的基板保持部；和在与第一方向交叉的第二方向上使排出单元和基板保持部相对移动的移动机构，排出单元从喷嘴向预先形成在由基板保持部保持的基板上的隔堤的各开口部排出用于形成发光层的液滴，发光层具有由发出不同颜色的光的多个发光区域按规定顺序在第二方向上隔开间隔地排列而成的发光区域组，至少一个开口部跨隔开间隔地在第二方向上相邻且发出相同颜色的光的多个发光区域。

主权项

一种涂敷装置，其特征在于，具有：包含多个喷头的排出单元，所述喷头在第一方向上排列设置有多个喷嘴；保持基板的基板保持部；和在与所述第一方向交叉的第二方向上使所述排出单元和所述基板保持部相对移动的移动机构，所述排出单元从所述喷嘴向预先形成在由所述基板保持部保持的所述基板上的隔堤的各开口部排出用于形成发光层的液滴，所述发光层具有由发出不同颜色的光的多个发光区域按规定顺序在所述第二方向上隔开间隔地排列而成的发光区域组，至少一个所述开口部跨隔开间隔地在所述第二方向上相邻且发出相同颜色的光的多个发光区域。