[发明专利]有机发光二极管的制备方法

摘要

本发明提供一种有机发光二极管的制备装置，其包括：一蒸发装置、一蒸镀装置、一导管和一真空泵；所述蒸发装置包括一蒸发室和一第一加热装置；所述第一加热装置用于加热所述蒸发室，使设置于该蒸发室内的蒸发源材料蒸发；所述蒸镀装置包括一蒸镀室、一喷头和一载物台；该蒸发室通过该导管与一设置于该蒸镀室内的喷头连接；该喷头包括一喷头本体和一喷嘴，该喷头本体具有相对的第一表面和第二表面，该第一表面设置一开口，该开口与该导管的排气端连接，该第二表面为一开口结构，该喷嘴设置于该开口结构处，该喷嘴包括多个间隔设置的通孔；该载物台设置于该蒸镀室内；该真空泵与该蒸镀室连接，用于维持制备装置的真空度。

主权项

1.一种有机发光二极管的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一制备装置，所述制备装置包括一蒸发装置、一蒸镀装置、一导管和一真空泵；所述蒸发装置包括一蒸发室和一第一加热装置；所述第一加热装置用于加热所述蒸发室；所述蒸镀装置包括一蒸镀室、一喷头和一载物台；所述蒸发室通过所述导管与设置于所述蒸镀室内的喷头连接；所述喷头包括一喷头本体和一喷嘴，所述喷头本体具有相对的第一表面和第二表面，第一表面设置一开口，该开口与所述导管的排气端连接，所述第二表面为一开口结构，所述喷嘴设置于所述开口结构处，所述喷嘴包括多个间隔设置的通孔；所述载物台设置于所述蒸镀室内；所述真空泵与所述蒸镀室连接；将一基底设置于该蒸镀室内的载物台上，该基底的表面形成有一第一电极，该第一电极远离基底的表面与该喷嘴相对且间隔设置；通过所述真空泵对所述蒸镀室抽真空；通过所述第一加热装置加热所述蒸发室，使蒸发室内的有机发光层源材料蒸发；通过所述导管将所述蒸发的气体引导至所述喷头，并通过所述喷头的通孔沉积到所述第一电极上形成有机发光层；以及在该有机发光层上形成第二电极。