[发明专利]有机发光二极管的制备装置有效
| 申请号： | 201710865961.2 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN109536894B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 纪进伟;廖文杰;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种有机发光二极管的制备装置，其包括：一蒸发装置、一蒸镀装置、一导管和一真空泵；所述蒸发装置包括一蒸发室和一第一加热装置；所述第一加热装置用于加热所述蒸发室，使设置于该蒸发室内的蒸发源材料蒸发；所述蒸镀装置包括一蒸镀室、一喷头和一载物台；该蒸发室通过该导管与一设置于该蒸镀室内的喷头连接；该喷头包括一喷头本体和一喷嘴，该喷头本体具有相对的第一表面和第二表面，该第一表面设置一开口，该开口与该导管的排气端连接，该第二表面为一开口结构，该喷嘴设置于该开口结构处，该喷嘴包括多个间隔设置的通孔；该载物台设置于该蒸镀室内；该真空泵与该蒸镀室连接，用于维持制备装置的真空度。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 发光二极管 制备 装置 | ||
【主权项】：
1.一种有机发光二极管的制备装置，其特征在于，其包括：一蒸发装置、一蒸镀装置、一导管和一真空泵；所述蒸发装置包括一蒸发室和一第一加热装置；所述第一加热装置用于加热所述蒸发室，使设置于该蒸发室内的蒸发源材料蒸发；所述蒸镀装置包括一蒸镀室、一喷头和一载物台；所述蒸发室通过所述导管与设置于所述蒸镀室内的喷头连接；所述喷头包括一喷头本体和一喷嘴，所述喷头本体具有相对的第一表面和第二表面，第一表面设置一开口，该开口与所述导管的排气端连接，所述第二表面为一开口结构，所述喷嘴设置于所述开口结构处，所述喷嘴包括多个间隔设置的通孔；所述载物台设置于所述蒸镀室内；所述真空泵与所述蒸镀室连接，用于维持制备装置的真空度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司，未经清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710865961.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
