[发明专利]一种等离子体注入腔室内衬结构有效
| 申请号： | 201710868864.9 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN107706079B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 朱剑豪;童丽萍;江敏;傅劲裕;李鹏辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市中科摩方科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 付奕昌 |
| 地址： | 518112 广东省深圳市龙岗区吉华街道甘李*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体注入腔室内衬结构，包括可拆卸式固定在等离子体注入腔室内的侧壁和顶壁，所述侧壁由至少十个基板和两个透明基板沿圆周方向首尾相接组合构成，两个所述透明基板左右对称分布，所述顶壁包括呈正十二边形的基板和十二个呈扇形的基板拼接组合构成，内衬的侧壁和顶壁由多块基板拼接组合构成，可以根据实际处理生物材料的需求，灵活快速地更换选择不同特性涂层的基板，充分地防止内壁元素被溅射到样品中，造成样品的注入污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 注入 内衬 结构 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体注入腔室内衬结构，其特征在于：包括可拆卸式固定在等离子体注入腔室内的侧壁和顶壁，所述侧壁由至少十个基板和两个透明基板沿圆周方向首尾相接组合构成，两个所述透明基板左右对称分布，所述顶壁由呈正十二边形的基板和十二个呈扇形的基板拼接组合构成，所述基板内侧表面涂覆有涂层，还包括可拆卸固定在侧壁内并与侧壁存在预定间隙的活动侧壁，所述活动侧壁由两个弧形基板和两个透明基板沿圆周方向间隔交错相接组合构成，所述活动侧壁的透明基板与侧壁的透明基板对应，在所述弧形基板上均等间隔排列设有多个气体分流通孔，在所述弧形基板的内侧、外侧表面涂覆有涂层。
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