[发明专利]使用嵌段共聚物形成精细图案的方法

摘要

本发明提供了一种形成精细图案的方法，该方法通过使用具有优异蚀刻选择性的嵌段共聚物而能够最小化LER和LWR，从而形成高质量纳米图案。本发明提供了一种嵌段共聚物，其包含具有由以下化学式1表示的重复单元的第一嵌段和具有由以下化学式2表示的重复单元的第二嵌段：[化学式1][化学式2]其中R1‑R5、X1‑X5、l、n和m如权利要求1中所定义。

主权项

一种形成精细图案的方法，其包括：排列涂覆在待图案化的基板上的嵌段共聚物；以及选择性地去除经图案化的嵌段共聚物的任一种单元嵌段，其中所述嵌段共聚物包括具有由以下化学式1表示的重复单元的第一嵌段和具有由以下化学式2表示的重复单元的第二嵌段：[化学式1][化学式2]其中，R1‑R4独立地选自‑H、具有1‑10个碳原子的烷基、具有2‑10个碳原子的烯基、具有2‑10个碳原子的炔基、卤素、氰基、具有1‑10个碳原子的烷氧基、具有1‑10个碳原子的烷硫基、具有1‑10个碳原子的烷基羰基和具有2‑10个碳原子的烯基羰基；R5选自‑H、具有1‑10个碳原子的烷基、具有3‑10个碳原子的环烷基、具有2‑10个碳原子的烯基、具有3‑10个碳原子的环烯基、具有2‑10个碳原子的炔基、具有2‑10个碳原子的含有选自O、N和S中的任一个或两个以上的杂原子的杂环烷基、具有6‑20个碳原子的芳基、具有4‑20个碳原子的含有选自O、N和S中的任一个或两个以上的杂原子的杂芳基、卤素、氰基、具有1‑10个碳原子的烷氧基、具有3‑10个碳原子的环烷氧基、具有6‑20个碳原子的芳氧基、具有1‑10个碳原子的烷硫基、具有3‑10个碳原子的环烷硫基、具有6‑20个碳原子的芳硫基、具有1‑10个碳原子的烷基羰基、具有2‑10个碳原子的烯基羰基、具有6‑20个碳原子的芳基羰基、具有3‑10个碳原子的环烷基羰基和具有3‑10个碳原子的环烯基羰基；X1‑X5独立地选自‑H、‑F、具有1‑10个碳原子的被至少一个F取代的烷基、具有3‑10个碳原子的被至少一个F取代的环烷基和具有6‑20个碳原子的被至少一个F取代的芳基，条件是X1‑X5不都是‑H；以及在所述嵌段共聚物中，当由上述化学式1和化学式2表示的所述嵌段共聚物中的重复单元A、B和C的摩尔分数分别为l、n和m时，l为0.2‑0.9，n为0‑0.6，m为0.01‑0.7，并且l+n+m＝1。