[发明专利]用于处理衬底的设备

摘要

本发明提供一种用于处理衬底的设备，其预加热连接于第一腔室与第二腔室之间的转移腔室中的衬底。一种用于处理衬底的设备包含被配置以提供第一腔室与第二腔室之间的衬底的转移空间的转移腔室、装设于转移腔室中以转移衬底的转移机器人和装设于转移腔室中以在真空状态中将辐射能量转移到衬底的加热单元，衬底坐落于转移机器人上以移动到加热位置。本发明的用于处理衬底的设备可使衬底通过维持在真空状态中的转移腔室中的辐射能量加热，以在无人为压力增大的情况下转移前，通过利用待用时间来均匀地预加热衬底，由此改善生产率。

主权项

一种用于处理衬底的设备，其特征在于，包括：转移腔室，所述转移腔室被配置以提供第一腔室与第二腔室之间的所述衬底的转移空间；转移机器人，所述转移机器人装设在所述转移腔室中以转移所述衬底；以及加热单元，所述加热单元装设在所述转移腔室中，以在真空状态中将辐射能量转移到所述衬底，所述衬底坐落在所述转移机器人上以移动到加热位置。