[发明专利]微机电压力传感器结构以及压力传感器有效
| 申请号： | 201710873107.0 | 申请日： | 2014-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN107655619B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 海基·库斯玛 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06;G01L1/14;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杜诚;杨铁成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微机电压力传感器结构以及压力传感器，微机电压力传感器结构包括平面基座、侧壁层以及隔膜板。其中，侧壁层形成侧壁，侧壁围绕地从平面基座延伸至侧壁层的上表面；平面基座、侧壁层以及隔膜板彼此附接，以在基准压力下形成密封的闭合间隙；侧壁层的上表面包括至少一个隔离区域，隔离区域不被隔膜板覆盖；并且隔离区域至少部分地被绝缘材料覆盖。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 压力传感器 结构 以及 | ||
【主权项】：
一种微机电压力传感器结构，其包括平面基座、侧壁层以及隔膜板，其中，所述侧壁层形成侧壁，所述侧壁围绕地从所述平面基座延伸至所述侧壁层的上表面；所述平面基座、所述侧壁层以及所述隔膜板彼此附接，以在基准压力下形成密封的闭合间隙；所述侧壁层的所述上表面包括至少一个隔离区域，所述隔离区域不被所述隔膜板覆盖；并且所述隔离区域至少部分地被绝缘材料覆盖。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710873107.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种机械化灵车
- 下一篇：自卸车软篷液压驱动装置
