[发明专利]一种抗氧化的陶瓷热敏电阻铜电极有效
申请号: | 201710875372.2 | 申请日: | 2017-09-25 |
公开(公告)号: | CN107705942B | 公开(公告)日: | 2019-04-19 |
发明(设计)人: | 汪洋 | 申请(专利权)人: | 江苏时恒电子科技有限公司 |
主分类号: | H01C1/14 | 分类号: | H01C1/14 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 212434 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于热敏电阻器电极领域,具体涉及一种抗氧化的陶瓷热敏电阻铜电极,该电极包括陶瓷基体,和通过物理气相沉积法沉积在陶瓷基体正反面的厚度为2000‑2200nm阻挡层、厚度为3000‑3500nm的导电层和厚度为3000‑3500nm的防氧化层,所述阻挡层材质为的复合Ti‑SiN;所述导电层材质为铜,所述防氧化层材质为复合Cr‑Al;所述物理气相沉积法是阴极电弧蒸发法。本发明的一种陶瓷热敏电阻器电极导电性能好、稳定性高,制备出的防氧化层与导电层粘合性好,可有效阻挡Cu原子被氧化。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化 陶瓷 热敏电阻 电极 | ||
【主权项】:
1.一种抗氧化的陶瓷热敏电阻铜电极,其特征在于,包括陶瓷基体,和通过物理气相沉积法沉积在陶瓷基体正反面的厚度为2000‑2200nm阻挡层、厚度为3000‑3500nm的导电层和厚度为3000‑3500nm的防氧化层,所述阻挡层材质为的复合Ti‑SiN;所述导电层材质为铜,所述防氧化层材质为复合Cr‑Al。
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