[发明专利]形状测定装置、形状测定方法、构造物制造方法有效
| 申请号： | 201710875972.9 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN107860331B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 山口雅哉 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本东京都千代*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种形状测定装置，其具有：照射部，对测定对象的测定区域照射测定光；摄影部，取得包含被前述照射部照射的位置的前述测定区域的像；载台，载置前述测定对象；坐标算出部，从以检测部检测出的像算出前述测定区域的位置；以及定位机构，将前述摄影部与前述载台相对驱动控制。前述定位机构，根据前述测定对象反复的凹凸形状中前述测定区域的凸部的棱线方向或凹部连接的方向的信息，算出前述摄影部与前述载台的相对位置，并使前述载台与前述摄影部中的至少一者移动。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测定 装置 方法 构造 制造 | ||
【主权项】：
一种形状测定装置，测定测定对象的形状，其特征在于其具有：照射部，对测定对象的测定区域照射测定光，前述测定对象具有反复地设置在周方向上的多个凹部和凸部；摄影部，取得前述测定区域的像；载台，载置前述测定对象；坐标算出部，在前述测定光是照射在前述测定区域时根据藉由摄影部所获得的像算出前述测定区域的位置；旋转移动部，使前述照射部与前述测定对象中的一者相对彼此而移动，使得前述测定区域的位置是在前述周方向上移动；以及相对移动部，使前述照射部与前述测定对象在前述凸部中的一者的棱线方向上相对移动，其中，前述照射部照射前述测定光于一方向上，使得藉由前述测定光被形成于前述测定对象上的光切断线相对于前述周方向及前述凸部中的前述一者的前述棱线方向的两方向倾斜。
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