[发明专利]一种循环冷却的沟槽腐蚀机在审
申请号: | 201710877769.5 | 申请日: | 2017-09-26 |
公开(公告)号: | CN107478569A | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 南通华林科纳半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01N17/00 | 分类号: | G01N17/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226500 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种循环冷却的沟槽腐蚀机,包括沟槽腐蚀机,所述沟槽腐蚀机的一侧固定连接有固定杆,所述固定杆远离沟槽腐蚀机的一端固定连接有冷却装置,所述冷却装置包括外壳、冷却管、冷却泵、冷却管入口和冷却管出口,所述固定杆远离沟槽腐蚀机的一端固定连接有外壳,所述外壳靠近沟槽腐蚀机一侧的上端开设有冷却管入口,所述冷却管入口内固定安装有冷却管,所述冷却管远离冷却管入口的一端固定连接有冷却泵。该循环冷却的沟槽腐蚀机,具备结构简单,使用方便,制冷效果好,腐蚀效果好等优点,解决了现有的腐蚀槽制冷是用冰块或水制冷的,冷却时间长,温度不匀,效果不佳且费时费力的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 循环 冷却 沟槽 腐蚀 | ||
【主权项】:
一种循环冷却的沟槽腐蚀机,包括沟槽腐蚀机(1),其特征在于:所述沟槽腐蚀机(1)的一侧固定连接有固定杆(2),所述固定杆(2)远离沟槽腐蚀机(1)的一端固定连接有冷却装置(3),所述冷却装置(3)包括外壳(31)、冷却管(32)、冷却泵(33)、冷却管入口(34)和冷却管出口(35),所述固定杆(2)远离沟槽腐蚀机(1)的一端固定连接有外壳(31),所述外壳(31)靠近沟槽腐蚀机(1)一侧的上端开设有冷却管入口(34),所述冷却管入口(34)内固定安装有冷却管(32),所述冷却管(32)远离冷却管入口(34)的一端固定连接有冷却泵(33),所述外壳(31)远离冷却管入口(34)的一端开设有冷却管出口(35),所述冷却管出口(35)内固定安装有冷却管(32),所述冷却管(32)远离冷却管出口(35)的一端固定连接有冷却泵(33)。
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