[发明专利]化学增幅型正型感光性树脂组成物、附有铸模的基板的制造方法以及电镀成形体的制造方法在审
申请号: | 201710879577.8 | 申请日: | 2017-09-26 |
公开(公告)号: | CN107870517A | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 郭圣扬;黄伟杰;刘骐铭;施俊安 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;C25D5/02 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人: | 马雯雯,臧建明 |
地址: | 中国台湾台南*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种感度及矩形性优异的化学增幅型正型感光性树脂组成物、附有铸模的基板的制造方法以及电镀成形体的制造方法。化学增幅型正型感光性树脂组成物包含由单体混合物共聚合而得,且含有酸解离性保护基的树脂(A)、光酸产生剂(C)、溶剂(D)、硫醇化合物(E)、以及蒽类化合物(F)。硫醇化合物(E)具有式(E‑1)所示的结构。 | ||
搜索关键词: | 化学 增幅 型正型 感光性 树脂 组成 附有 铸模 制造 方法 以及 电镀 成形 | ||
【主权项】:
一种化学增幅型正型感光性树脂组成物,包括:树脂(A),所述树脂(A)是由单体混合物共聚合而得,且含有酸解离性保护基;光酸产生剂(C);溶剂(D);硫醇化合物(E);以及蒽类化合物(F);其中所述硫醇化合物(E)具有下述式(E‑1)所示的结构:式(E‑1)中,R1、R2各自独立表示氢原子或碳原子数为1至4的烷基,R3表示单键或碳原子数为1至10的亚烷基,R4表示u价有机基团;u表示2至6的整数。
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