[发明专利]一种电热驱动双稳态MEMS开关在审
| 申请号： | 201710881433.6 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN107742598A | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 赵玉龙;张雪婷;胡腾江;房旷 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01H61/00 | 分类号： | H01H61/00;H01H61/01 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种电热驱动双稳态MEMS开关，包括正方形基底，正方形基底上垂直分布有V型电热执行器I和V型电热执行器II，V型电热执行器I在一路驱动电路控制下驱动第一钩型触头，V型电热执行器II在另一路驱动电路控制下驱动第二钩型触头，第一钩型触头和第二钩型触头接触即导通电路，第一钩型触头和第二钩型触头不接触即断开电路，两个驱动电路为脉冲电压且有相位差；利用V型梁的热电效应与热膨胀效应，通过加电压使其产生热变形，从而驱动钩型触头运动；本发明具有稳定性高、驱动力大、输出线性、低功耗、成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电热 驱动 双稳态 mems 开关 | ||
【主权项】：
一种电热驱动双稳态MEMS开关，包括正方形基底(11)，其特征在于：正方形基底(11)上垂直分布有V型电热执行器I和V型电热执行器II，V型电热执行器I在一路驱动电路U1控制下驱动第一钩型触头(6)，V型电热执行器II在另一路驱动电路U2控制下驱动第二钩型触头(10)，第一钩型触头(6)和第二钩型触头(10)接触即导通电路，第一钩型触头(6)和第二钩型触头(10)不接触即断开电路，驱动电路U1、驱动电路U2为脉冲电压，驱动电路U1和驱动电路U2有相位差。
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