[发明专利]蚀刻机风刀的清洗机构及其控制方法

摘要

本发明提供了一种蚀刻机风刀的清洗机构，包括风刀，所述风刀上设有主管路，在主管路上设有两路分支，一路为与清洗液水槽连接的水管，另一路为通气的通气管，所述水管上设有第一气动阀，水管上设有第二气动阀。本发明还提供了一种用于蚀刻机风刀的清洗机构的控制方法，所述控制方法包括清洗和风干；所述清洗包括控制器开启第一气动阀，将清洗液经水管、主管路通入风刀，实现对风刀进行清洗；所述风干包括控制器关闭第一气动阀同时开启第二气动阀，使气体经通气管、主管路通入风刀，实现对风刀中的残留清洗液进行风干。与现有技术相比，实现对风刀的自动清洗，节省了人力资源以及缩短清洗时间。

主权项

一种蚀刻机风刀的清洗机构，包括风刀(1)，其特征在于：所述风刀(1)上设有主管路(2)，在主管路(2)上设有两路分支，一路为与清洗液水槽连接的水管(3)，另一路为通气的通气管(4)，所述水管(3)上设有第一气动阀(5)，水管(3)上设有第二气动阀(6)。