[发明专利]移载单元、移载装置以及保持单元

摘要

本发明提供一种移载单元、移载装置以及保持单元。移载单元具备保持单元和能够使所述保持单元在上下方向上移动的驱动单元。所述保持单元具备：保持部，其能够保持工件；可动部，其支承所述保持部；支承部，其将所述可动部支承为在上下方向上位移自如；以及施力部，其相对于所述支承部向下方对所述可动部进行施力。所述支承部具有引导所述可动部的位移的引导面，所述可动部具有与所述引导面抵接的抵接面。所述引导面和所述抵接面分别是向上方或下方逐渐变细的面。

主权项

一种移载单元，其特征在于，具备：保持单元，所述保持单元能够保持工件；以及驱动单元，所述驱动单元能够使所述保持单元在上下方向上移动，所述保持单元具备：保持部，所述保持部能够保持工件；可动部，所述可动部支承所述保持部；支承部，所述支承部将所述可动部支承为在上下方向上位移自如；以及施力部，所述施力部相对于所述支承部向下方对所述可动部进行施力，所述支承部具有引导所述可动部的位移的第一引导面，所述可动部具有与所述第一引导面抵接的第一抵接面，所述第一引导面以及所述第一抵接面分别是向上方或下方逐渐变细的面，以便在使所述可动部相对于所述支承部向下方位移时，所述第一引导面以及所述第一抵接面相互抵接而进行定位。