[发明专利]一种气浮共面真空预压平台

摘要

本发明公开了一种气浮共面真空预压平台，包括水平底座，平行设置的两个第一基座，以及垂直设在两个第一基座之间的第二基座，两个第一基座上均套有与其滑动连接的第一气浮导轨，第二基座上套有与其滑动连接的第二气浮导轨，且第二基座的两端分别与两个第一气浮导轨固定连接，还包括用于驱动第一气浮导轨沿第一基座滑动的第一直线电机，和用于驱动第二气浮导轨沿第二基座滑动的第二直线电机，第二气浮导轨为真空预压式气浮导轨；整体结构采用共面的H型设置，结构刚度大，承载能力高，且易保证两气浮导轨在两方向运动平面基准的统一，而第二气浮导轨采用真空预压气浮技术可以防止其发生垂直方向的窜动，可以进一步提高精度，保证稳定性。

主权项

一种气浮共面真空预压平台，其特征在于，包括水平底座，固定在所述底座上且平行设置的两个第一基座，以及设在两个所述第一基座之间且延伸方向垂直于所述第一基座的第二基座，两个所述第一基座上均套有与其滑动连接的第一气浮导轨，所述第二基座上套有与其滑动连接的第二气浮导轨，且所述第二基座的两端分别与两个所述第一气浮导轨固定连接，还包括用于驱动所述第一气浮导轨沿所述第一基座滑动的第一直线电机，和用于驱动所述第二气浮导轨沿所述第二基座滑动的第二直线电机，所述第一直线电机的定子固定在所述底座上，所述第一直线电机的动子与所述第一气浮导轨连接，所述第二直线电机的定子安装在所述第二基座上，所述第二直线电机的动子与所述第二气浮导轨连接，所述第二气浮导轨为真空预压式气浮导轨。