[发明专利]坩埚加热装置有效
| 申请号： | 201710891374.0 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107604318B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 薛建成 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 姜春咸;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种坩埚加热装置，包括容纳壳体、开合盖和第一加热件，所述开合盖设置在所述容纳壳体上方，且具有闭合态和敞开态，处于闭合态的开合盖与所述容纳壳体围成加热腔，该加热腔用于容纳坩埚；所述坩埚包括坩埚本体和设置在坩埚本体上方的喷嘴；所述第一加热件位于所述加热腔内，用于对该加热腔中的坩埚的坩埚本体进行加热，开合盖上设置有通孔，所述开合盖处于闭合态时，所述加热腔内的坩埚的喷嘴位于所述通孔内；所述通孔内设置有第二加热件，该第二加热件用于对处于所述通孔内的喷嘴加热。本发明能够减少坩埚喷嘴的堵塞现象。 | ||
| 搜索关键词： | 加热腔 开合盖 加热件 通孔 坩埚 容纳壳体 坩埚本体 喷嘴 闭合态 坩埚加热装置 加热 坩埚喷嘴 容纳 敞开 堵塞 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚加热装置，包括容纳壳体、开合盖和第一加热件，所述开合盖设置在所述容纳壳体上方，且具有闭合态和敞开态，处于闭合态的开合盖与所述容纳壳体围成加热腔，该加热腔用于容纳坩埚；所述坩埚包括坩埚本体和设置在坩埚本体上方的喷嘴；所述第一加热件位于所述加热腔内，用于对该加热腔中坩埚的坩埚本体进行加热，其特征在于，所述开合盖上设置有通孔，所述开合盖处于闭合态时，所述加热腔内的坩埚的喷嘴位于所述通孔内；所述通孔内设置有第二加热件，该第二加热件用于对处于所述通孔内的喷嘴加热；所述坩埚还包括设置在所述坩埚本体上方的坩埚盖，所述喷嘴设置在所述坩埚盖上；所述第一加热件包括第一加热部和第二加热部，所述第一加热部设置在所述容纳壳体上，所述第二加热部设置在所述开合盖上；所述开合盖处于闭合态时，第一加热部环绕加热腔中坩埚的坩埚本体的一部分，第二加热部环绕所述坩埚的坩埚本体的另一部分和所述坩埚的坩埚盖；所述第一加热部和所述第二加热部能够独立控制。
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