[发明专利]上料除静电装置在审
申请号: | 201710896813.7 | 申请日: | 2017-09-28 |
公开(公告)号: | CN109570146A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 郭飞 | 申请(专利权)人: | 镇江日泰生物工程设备有限公司 |
主分类号: | B08B6/00 | 分类号: | B08B6/00;H05F3/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及上料除静电装置,包括工作台、离子风机、抽风系统和防护网罩,所述离子风机通过固定支架架设于所述工作台上,其出风口正对工作台台面;在所述工作台台面上、正对离子风机下方开设有进风口;在所述进风口处设置有防护网罩;在所述进风口下方设置有用于吸取储存杂物颗粒的抽风系统。本发明可有效去除因静电吸附在硅片表面和操作员手套上的泡沫颗粒。 | ||
搜索关键词: | 离子风机 除静电装置 抽风系统 防护网罩 进风口 工作台 上料 正对 工作台台面 固定支架 硅片表面 进风口处 静电吸附 泡沫颗粒 杂物颗粒 出风口 手套 去除 架设 储存 | ||
【主权项】:
1.上料除静电装置,其特征在于:包括工作台、离子风机、抽风系统和防护网罩,所述离子风机通过固定支架架设于所述工作台上,其出风口正对工作台台面;在所述工作台台面上、正对离子风机下方开设有进风口;在所述进风口处设置有防护网罩;在所述进风口下方设置有用于吸取储存杂物颗粒的抽风系统。
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