[发明专利]一种三栅组件及含有该三栅组件的离子源

摘要

本发明公开了一种三栅组件，包括依次平行设置的内栅网、中栅网和外栅网，所述内栅网内侧设有内法兰，所述内栅网安装于所述内法兰上，所述外栅网外侧设有外法兰，所述外栅网安装于所述外法兰上，所述内法兰与所述中栅网之间、以及所述外法兰与所述中栅网之间均夹设有绝缘隔离件，所述中栅网上设有用于吸收热变形的应力吸收槽。本发明进一步公开了一种离子源，包括内罩、位于内罩内部的放电室、以及位于放电室内的阴极和阳极，还包括上述的三栅组件，三栅组件中的内法兰与所述放电室紧贴，三栅组件中的外法兰与所述内罩相连。本发明具有结构简单、成本低、有利于减少栅网间距离、可防止栅网间形变短路等优点。

主权项

1.一种三栅组件，包括依次平行设置的内栅网(1)、中栅网(2)和外栅网(3)，其特征在于：所述内栅网(1)内侧设有内法兰(4)，所述内栅网(1)安装于所述内法兰(4)上，所述外栅网(3)外侧设有外法兰(5)，所述外栅网(3)安装于所述外法兰(5)上，所述内法兰(4)与所述中栅网(2)之间、以及所述外法兰(5)与所述中栅网(2)之间均夹设有绝缘隔离件(6)，所述中栅网(2)上设有用于吸收热变形的应力吸收槽(21)。