[发明专利]一种热板装置在审
| 申请号： | 201710901400.3 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN108662930A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 刘连军 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | F28D15/00 | 分类号： | F28D15/00;F28F21/08;F28F27/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种热板装置，包括热板和与所述热板以通道连接的温控介质腔，所述温控介质腔提供氟化液，所述氟化液在所述热板中循环流动。本发明提供热板装置，利用氟化液作为温控介质，保证了热板装置的温度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 热板 温控介质 氟化液 温度均匀性 通道连接 循环流动 保证 | ||
【主权项】：
1.一种热板装置，其特征在于，包括热板和与所述热板以通道连接的温控介质腔，所述温控介质腔提供氟化液，所述氟化液在所述热板中循环流动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710901400.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
