[发明专利]一种硅棒生产用几何尺寸测量装置

摘要

本发明公开了一种硅棒生产用几何尺寸测量装置，包括数控箱、金相显微镜、测控装置和集成检测箱，数控箱的顶端嵌入设置有第一显示器，第一显示器的侧面连接有操作按钮，数控箱的前上端设置有第二显示器，该种硅棒生产用含量测试仪，集成检测箱包括激光反馈外形检测、温度与电阻检测和红外线超声波混合三维立体形态成像，将硅棒检测的多步骤进行集合，减少繁杂操作的同时提高整体的检测精度，设有第二显示器，直接连通集成检测器，并将集成检测器检测的各项参数组合解析后，形成三维图像显示出来，通过与第一显示器显示的平面图进行参照，方便检测人员进行调整，使其能够精准的测量出硅棒的各项参数，提高装置的实用性。