[发明专利]一种集成式超精细光谱筛及其制备方法

摘要

本发明公开了一种集成式超精细光谱筛，采用8片以上窄条滤光片粘接集成，控制各个窄条滤光片的各面尺寸、形位精度相同，控制各个窄条滤光片的通光面无瑕疵、双面平行度小于3μm，窄条滤光片的上下涂胶面加工有十字形对准标记，实现长度方向精确拼接，集成后的通光面无台阶状偏差，平面度小于5μm。本发明还公开了制备上述集成式超精细光谱筛的方法，具有精度高、集成工艺成熟、集成后的光学元件表面无溢胶的优点，制备出的集成式超精细光谱筛具有集成度高、一致性高、精度高、性价比高、稳定性好的优点，适用于高分辨率多光谱成像仪光学系统。

主权项

1.一种集成式超精细光谱筛，其特征在于，包括若干片各面尺寸、形位精度相同的窄条滤光片，所述窄条滤光片的通光面无瑕疵、双面平行度小于3μm；各个窄条滤光片的涂胶面之间通过树脂粘接集成在一起，所述涂胶面之间对准整齐粘接后重合，所述集成式超精细光谱筛的通光面无台阶状偏差，平面度小于5μm；各个窄条滤光片上下涂胶面的两侧相同的位置采用光刻技术各设有一个十字型对准标记，上涂胶面的两个十字形对准标记与下涂胶面的两个十字形对准标记在涂胶面垂直方向上俯视重合，所述十字形对准标记使各个窄条滤光片间整齐对准；所述窄条滤光片的数量至少为八片；各个窄条滤光片的谱段不同，可配置的谱段范围为400nm‑1000nm；所述树脂为环氧树脂，使所述集成式超精细光谱筛能够耐受正弦振动测试及0～50℃热真空测试。