[发明专利]一种投影物镜有效
| 申请号： | 201710909308.1 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109581622B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 安福平;储兆祥;郭银章 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B13/22;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种投影物镜，用于将物方的图像投影在像方上，所述物镜从物方开始沿光轴依次包括；具有正光焦度的第一透镜组、具有负光焦度的第二透镜组、具有正光焦度的第三透镜组、具有负光焦度的第四透镜组、以及具有正光焦度的第五透镜组，在第一透镜组、第二透镜组、第四透镜组和第五透镜组设有非球面镜面的透镜，采用此设计减少了透镜的个数，使得所述物镜结构更加紧凑，提升了所述物镜的透过率，另一方面，优化了非球面镜面的结构设计，降低其非球面度，减少了非球面镜面的加工难度与成本，除此之外所述物镜具有双远心结构，降低所述物镜对掩模面上微小的凹凸缺陷的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 物镜 | ||
【主权项】：
1.一种投影物镜，用于将物方的图像投影在像方上，其特征在于，所述投影物镜从物方开始沿光轴依次包括：具有正光焦度的第一透镜组，所述第一透镜组包括第一负透镜组，在所述第一负透镜组的透镜中靠近所述物方的一侧的镜面为非球面镜面；具有负光焦度的第二透镜组，所述第二透镜组包括第一双凹形透镜组，在所述第一双凹形透镜组靠近所述像方一侧的透镜中靠近物方一侧的镜面为非球面镜面镜面；具有正光焦度的第三透镜组；具有负光焦度的第四透镜组，所述第四透镜组包括第二双凹形透镜组，在所述第二双凹形透镜组靠近所述物方一侧的透镜中靠近所述像方一侧的镜面为非球面镜面；以及具有正光焦度的第五透镜组，所述第五透镜组包括第三双凹形透镜组，在所述第三双凹形透镜组的透镜中靠近所述像方一侧的镜面为非球面镜面。
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