[发明专利]反相器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710912118.5 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107768519B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 江潮;李默林;王嘉玮 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | H01L51/05 | 分类号： | H01L51/05;H01L51/40 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种反相器及其制备方法。该方法包括：步骤1，在金属导电层上的介电层表面制备氧化物半导体层，并对所述氧化物半导体层进行退火处理；步骤2，在所述氧化物半导体层表面蒸镀有机小分子层；步骤3，在所述有机小分子层表面蒸镀外部供电电极、输出电极和接地电极，获得反相器；所述反相器以有机小分子层作为P型有源层，以氧化物半导体层作为N型有源层。本发明以电学性能相匹配的有机小分子和氧化物半导体形成反相器，使得反相器具有良好的性能同时输出信号能量纯度更高。此外，本发明采用的材料易于获取，因此可大规模生产反相器以满足反相器的工业需求量。 | ||
| 搜索关键词： | 反相器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种反相器制备方法，其特征在于，包括：步骤1，在金属导电层上的介电层表面制备氧化物半导体层，并对所述氧化物半导体层进行退火处理；步骤2，在所述氧化物半导体层表面蒸镀有机小分子层；步骤3，在所述有机小分子层表面蒸镀外部供电电极、输出电极和接地电极，获得反相器；所述反相器以有机小分子层作为P型有源层，以氧化物半导体层作为N型有源层。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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