[发明专利]一种太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池的制备方法，包括，对制绒后的单晶硅片进行氧化后，在所述单晶硅片表面依次生成SiO2膜和硅膜，再在硅膜表面沉积PSG，并除去硅膜表面预设区域内的PSG；在所述预设区域内沉积BSG，在所述硅膜的表面形成所述PSG和所述BSG相间的区域；以所述PSG和所述BSG作为P源和B源的扩散推进，获得具有N型掺杂层和P型掺杂层交替分布结构的太阳能电池。本发明中无需多次掩膜清洗后实现磷扩散和硼扩散，整个工艺流程简单易操作，且设备成本低，从而降低太阳能电池的量化生产的成本，有利于太阳能电池的应用推广。

主权项

一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：对制绒后的单晶硅片进行氧化，在所述单晶硅片表面生成SiO2膜，并在所述SiO2膜的表面镀一层硅膜；在所述硅膜表面沉积PSG，并除去所述硅膜表面预设区域内的所述PSG；在所述预设区域内沉积BSG，在所述硅膜的表面形成所述PSG和所述BSG相间的区域；以所述PSG和所述BSG作为P源和B源的扩散推进，获得N型掺杂层和P型掺杂层交替分布的太阳能电池。