[发明专利]一种钼铝共用蚀刻液及蚀刻方法有效
| 申请号： | 201710913895.1 | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109594079B | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 鄢艳华;康威 | 申请（专利权）人： | 深圳新宙邦科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20;C23F1/26 |
| 代理公司： | 深圳卓正专利代理事务所(普通合伙) 44388 | 代理人： | 万正平 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为克服现有LTPS技术中对M3层和LS层蚀刻效率低、成本高的问题，本发明提供了一种钼铝共用蚀刻液，包括磷酸、硝酸、醋酸、添加剂和水；以所述蚀刻液的总重量为基准，所述磷酸的含量为55‑65wt％、硝酸的含量为3‑5wt％、醋酸的含量为12‑18wt％、添加剂的含量为2.5‑4.0wt％，余量为水；所述添加剂包括金属盐、无机铵盐和助剂；所述蚀刻液中，无机铵盐的含量为0.1‑0.3wt％；所述助剂选自4‑羟基苯磺酸、二乙基三胺五乙酸、植酸中的一种或多种。同时，本发明还提供了采用该蚀刻液进行蚀刻的方法。本发明提供的钼铝共用蚀刻液可同时用于对M3层和LS层进行蚀刻，简化了工艺，提高了效率，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 共用 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钼铝共用蚀刻液，其特征在于，包括磷酸、硝酸、醋酸、添加剂和水；以所述蚀刻液的总重量为基准，所述磷酸的含量为55‑65wt％、硝酸的含量为3‑5wt％、醋酸的含量为12‑18wt％、添加剂的含量为2.5‑4.0wt％，余量为水；所述添加剂包括金属盐、无机铵盐和助剂；所述蚀刻液中，无机铵盐的含量为0.1‑0.3wt％；所述助剂选自4‑羟基苯磺酸、二乙基三胺五乙酸、植酸中的一种或多种。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳新宙邦科技股份有限公司，未经深圳新宙邦科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710913895.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：避免二次蚀刻的蚀刻机及其使用方法
- 下一篇：一种钛合金表面处理方法
