[发明专利]一种制备有机-无机复合半导体单晶薄膜的空间限位溶剂辅助生长方法有效

专利信息
申请号: 201710917912.9 申请日: 2017-09-30
公开(公告)号: CN107634141B 公开(公告)日: 2019-07-12
发明(设计)人: 廉刚;付现伟;董宁;吕松;赵天宇;王琪珑;崔得良 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;C30B7/06
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 杨磊
地址: 250199 山*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种制备有机‑无机复合半导体单晶薄膜的空间限位溶剂辅助生长方法。首先将有机‑无机复合半导体多晶薄膜吸附一定量的溶剂蒸汽,再将抛光的盖片放置于薄膜表面,将多晶薄膜和盖片一起用柔性薄膜包封后放入高压热压釜内,用液态传压传热介质填满热压釜后密封,并在热压釜上施加高压后开始加热。在恒温恒压处理一定时间后,逐步冷却到室温,缓慢地卸掉压力即得由大尺寸、高结晶度的晶粒组成、晶粒界面结合良好的有机‑无机复合半导体单晶薄膜。本发明制备的有机‑无机复合半导体单晶薄膜可用于研制高性能太阳能电池、电致发光器件、光敏探测器等半导体光电功能器件,在新能源技术、显示设备制造以及自动控制等领域有重要的应用价值。
搜索关键词: 一种 制备 有机 无机 复合 半导体 薄膜 空间 限位 溶剂 辅助 生长 方法
【主权项】:
1.一种制备有机‑无机复合半导体单晶薄膜的空间限位溶剂辅助生长方法,包括:将有机‑无机复合半导体单晶薄膜吸附溶剂蒸汽步骤:在液态传压传热介质中进行高等静压处理步骤;进行高等静压处理步骤中,将吸附完溶剂蒸汽后的有机‑无机复合半导体单晶薄膜与抛光盖片紧密贴合,然后包覆密封,再进行高等静压处理;使用柔性薄膜进行包覆密封,所述的柔性薄膜为聚四氟乙烯薄膜、金箔或/和银箔;所述的抛光盖片为硅片、III‑V族半导体单晶片、II‑VI族半导体单晶片、氧化铝片或玻璃片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东大学,未经山东大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710917912.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top