[发明专利]一种制备有机-无机复合半导体单晶薄膜的空间限位溶剂辅助生长方法有效
申请号: | 201710917912.9 | 申请日: | 2017-09-30 |
公开(公告)号: | CN107634141B | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 廉刚;付现伟;董宁;吕松;赵天宇;王琪珑;崔得良 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;C30B7/06 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 杨磊 |
地址: | 250199 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种制备有机‑无机复合半导体单晶薄膜的空间限位溶剂辅助生长方法。首先将有机‑无机复合半导体多晶薄膜吸附一定量的溶剂蒸汽,再将抛光的盖片放置于薄膜表面,将多晶薄膜和盖片一起用柔性薄膜包封后放入高压热压釜内,用液态传压传热介质填满热压釜后密封,并在热压釜上施加高压后开始加热。在恒温恒压处理一定时间后,逐步冷却到室温,缓慢地卸掉压力即得由大尺寸、高结晶度的晶粒组成、晶粒界面结合良好的有机‑无机复合半导体单晶薄膜。本发明制备的有机‑无机复合半导体单晶薄膜可用于研制高性能太阳能电池、电致发光器件、光敏探测器等半导体光电功能器件,在新能源技术、显示设备制造以及自动控制等领域有重要的应用价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 有机 无机 复合 半导体 薄膜 空间 限位 溶剂 辅助 生长 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制备有机‑无机复合半导体单晶薄膜的空间限位溶剂辅助生长方法,包括:将有机‑无机复合半导体单晶薄膜吸附溶剂蒸汽步骤:在液态传压传热介质中进行高等静压处理步骤;进行高等静压处理步骤中,将吸附完溶剂蒸汽后的有机‑无机复合半导体单晶薄膜与抛光盖片紧密贴合,然后包覆密封,再进行高等静压处理;使用柔性薄膜进行包覆密封,所述的柔性薄膜为聚四氟乙烯薄膜、金箔或/和银箔;所述的抛光盖片为硅片、III‑V族半导体单晶片、II‑VI族半导体单晶片、氧化铝片或玻璃片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东大学,未经山东大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710917912.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择