[发明专利]一种IC芯片背面观察样品及其制作方法有效
申请号: | 201710927364.8 | 申请日: | 2017-09-28 |
公开(公告)号: | CN107797049B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 李兴鸿;赵俊萍;王勇;方测宝;黄鑫 | 申请(专利权)人: | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
主分类号: | G01R31/311 | 分类号: | G01R31/311 |
代理公司: | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人: | 庞静 |
地址: | 100076 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种IC芯片背面观察样品及其制作方法,所述制作方法为:采用中空PCB板与垫板粘接;将管芯背面粘贴在PCB板中空处;将管芯PAD与PCB焊盘用金丝球焊方式相连;管芯表面及部分焊盘涂绝缘胶并固化;去掉垫板露出管芯背面。本发明完全消除了背面近红外光观察时管芯结构的遮挡因素,有效降低以至消除了管芯机械损伤的诱因,原材料易于获取,无污染,操作简单,成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 ic 芯片 背面 观察 样品 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种IC芯片背面观察样品,其特征在于:包括被测IC芯片管芯(8)、中空PCB板(3),IC芯片管芯(8)位于PCB板(3)中空区域,中空PCB板(3)包括引脚(4)、焊盘(6),引脚(4)通过覆铜线(5)与焊盘(6)连接,焊盘(6)通过键合丝(7)与IC芯片管芯(8)的PAD(9)相连接,引脚(4)用于连接IC芯片管芯中PAD相对应的外部偏置电路。
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