[发明专利]基底的传输装置、传输方法以及光刻设备有效
| 申请号： | 201710931851.1 | 申请日： | 2017-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN109634061B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 吴福龙;阮冬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基底的传输装置、传输方法以及光刻设备，包括运动平台以及若干个转板台，所述若干个转板台沿x方向设置，所述转板台用于沿y方向传输基底，所述x方向与y方向相互垂直，所述运动平台包括固定台以及若干个与所述固定台运动连接的运动台，所述转板台分别与所述运动台连接并通过所述运动台可沿x方向运动，所述若干个转板台包括若干个上板台和若干个下板台。本发明提供的一种基底的传输装置、传输方法以及光刻设备能够提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 传输 装置 方法 以及 光刻 设备 | ||
【主权项】：
1.一种基底的传输装置，其特征在于，包括运动平台以及若干个转板台，所述若干个转板台沿x方向设置，所述转板台用于沿y方向传输基底，所述x方向与y方向相互垂直，所述运动平台包括固定台以及若干个与所述固定台运动连接的运动台，所述转板台分别与所述运动台连接并通过所述运动台可沿x方向运动，所述若干个转板台包括若干个上板台和若干个下板台。
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