[发明专利]衍射光学元件监测装置及方法在审
| 申请号： | 201710943641.4 | 申请日： | 2017-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN107860558A | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 邓想全;黄杰凡 | 申请（专利权）人： | 深圳奥比中光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01R27/02 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出一种衍射光学元件监测装置，包括衍射光学元件(DOE)，由至少一片透明基片刻蚀而成，并且所述透明基片的上表面和/或下表面刻有衍射光栅，用于衍射入射光源发出的光束；透明导电薄膜，附着于所述DOE的表面，具有电阻属性；监测控制单元，通过导线与所述透明导电薄膜连接，用于监测所述透明导电薄膜的电阻变化，以判断所述DOE的完整性并进行相应的安全控制。本发明还提出一种衍射光学元件监测方法，本发明的衍射光学元件监测装置及方法，能够持续及时的对DOE完整性做出合理的评估并进行相应的安全控制，以确保DOE始终在安全的状况下工作。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 监测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种衍射光学元件监测装置，其特征在于，包括：衍射光学元件(DOE)，由至少一片透明基片刻蚀而成，并且所述透明基片的上表面和/或下表面刻有衍射光栅，用于衍射入射光源发出的光束；透明导电薄膜，附于所述衍射光学元件的表面，具有电阻属性；监测控制单元，与所述透明导电薄膜电连接，用于监测所述透明导电薄膜的电阻变化，以判断所述衍射光学元件的完整性并进行相应的安全控制。
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