[发明专利]一种自动化光罩多功能翻转检查机

摘要

本发明公开了一种自动化光罩多功能翻转检查机，包括检查机主体和二联件，所述检查机主体的上端设置有对称的FFU空气过滤器，且所述FFU空气过滤器与检查机主体紧密固定，所述FFU空气过滤器的顶部设有FFU控制器，且所述FFU控制器的底部与FFU空气过滤器的表面接触，通过结合传统的二联件的气源处理模式和检查机主体，可进行检测对象的设备运行状况、加工条件、缺陷、形状以及尺寸等的工作，还可以利用翻转台对工件进行工件360°的翻转，提高检测区域洁净度等级；提高操作安全性，安全拉绳保证设备运转时，人员不能进入设备内，安全拉绳保证设备运转时，人员不能进入设备内，一旦有人移动拉绳导致设备急停，保证操作人员的安全。

主权项

一种自动化光罩多功能翻转检查机，包括检查机主体(1)和二联件(18)，其特征在于：所述检查机主体(1)的上端设置有对称的FFU空气过滤器(8)，且所述FFU空气过滤器(8)与检查机主体(1)紧密固定，所述FFU空气过滤器(8)的顶部设有FFU控制器(10)，且所述FFU控制器(10)的底部与FFU空气过滤器(8)的表面接触，所述FFU空气过滤器(8)的下端设置有第一平衡吊(5)和升降台(6)，且所述第一平衡吊(5)和升降台(6)均与检查机主体(1)的内壁活动连接，所述第一平衡吊(5)的下侧设有第一护罩(9)，且所述第一护罩(9)嵌套设置在检查机主体(1)中，所述第一护罩(9)的右下端设有表面检查射灯电源(4)，所述表面检查射灯电源(4)的上侧设置有操作面板(2)，且所述操作面板(2)与检查机主体(1)电性连接，所述操作面板(2)的外侧安装有洁净室(12)，且所述洁净室(12)与检查机主体(1)通过螺丝固定连接，所述洁净室(12)的上端设置有第一护罩(9)和第一框架(13)，且所述第一护罩(9)与检查机主体(1)的外壁接触，并且所述第一框架(13)嵌入设置在洁净室(12)上，所述洁净室(12)的内部设置有翻转台(16)，且所述翻转台(16)的两端嵌入设置在检查机主体(1)的内壁，所述翻转台(16)的右端设有安全绳拉杆(14)和二联件(15)，所述二联件(15)的上侧设有维修护罩(18)，且所述维修护罩(18)与检查机主体(1)紧密连接，所述维修护罩(18)的一端设置有Case盖板支撑件(21)，且所述Case盖板支撑件(21)与维修护罩(18)活动连接，所述Case盖板支撑件(21)的右侧设有Case(20)，所述Case(20)的右上端设有翻转台支柱(22)，且所述翻转台支柱(22)与检查机主体(1)紧密连接，所述翻转台支柱(22)的一端设有第二护罩(25)。