[发明专利]一种粉末包覆原子层沉积装置

摘要

本发明公开了一种粉末包覆原子层沉积装置，其包括粉末容器和反应腔体，反应腔体的一端设置有进源口，进源口中密封设置有用于输入反应气体或载气的进气管，反应腔体的另一端开设有腔门，粉末容器设置于腔门内侧，在动力装置的驱动下可实现旋转，粉末容器上开设有进气孔，进气管通过进气孔进入粉末容器的内腔，反应腔体的内部设置有超声振动杆，粉末容器通过导向装置进入反应腔体后，粉末容器的外侧壁与超声振动杆接触。本发明将旋转方法和超声振动方法相结合，可以利用旋转增大粉末与反应气体的接触概率，也可以利用振动产生的能量解除粉末团聚，使粉末分散，最终在粉末表面包覆均匀致密的薄膜。

主权项

1.一种粉末包覆原子层沉积装置，包括粉末容器和反应腔体，其特征在于，所述反应腔体的一端设置有进源口，所述进源口中密封设置有用于通入反应气体或载气的进气管，所述反应腔体的另一端开设有腔门，所述粉末容器设置于腔门内侧且在动力装置的驱动下旋转，所述粉末容器上开设有进气孔，所述进气管通过所述进气孔进入所述粉末容器的内腔，所述反应腔体的内部设置有超声振动杆，所述粉末容器通过导向装置进入所述反应腔体后，所述粉末容器的外侧壁与所述超声振动杆接触，所述粉末容器的内部沿轴向设置有用于增大粉末与容器接触面积的内网。