[发明专利]一种电化学沉积纳米薄膜的厚度测量方法

摘要

本发明公开了一种电化学沉积纳米薄膜的厚度测量方法。本发明首先制备多个互相绝缘的金属薄膜电极，将进行电化学沉积的金属薄膜电极通过电缆连接至电化学工作站，进行电化学沉积，采用形貌扫描设备扫描未进行电化学沉积和已进行电化学沉积的金属薄膜电极的表面，得到扫描高度曲线；对扫描高度曲线进行拉平，得到去掉倾角的形貌曲线；根据去掉倾角的形貌曲线，计算未进行电化学沉积的金属薄膜电极的高度与已进行电化学沉积的金属薄膜电极的高度差，从而得到电化学沉积薄膜的厚度；本发明简单易行，测量精度高；扫描设备的扫描量程为微米级，在此范围内能够实现纳米级的扫描精度，因此能够准确测量出纳米级的电化学沉积薄膜的厚度。

主权项

1.一种电化学沉积纳米薄膜的厚度测量方法，其特征在于，所述厚度测量方法包括以下步骤：1)通过沉积的方式制备纳米级厚度的金属薄膜；2)通过半导体加工技术在金属薄膜的表面制备出绝缘沟槽，形成多个互相绝缘的金属薄膜电极；3)配置电化学沉积溶液，添加入微型电化学反应池中，将对电极、工作电极和参比电极插入电化学沉积溶液中，并且将对电极、工作电极和参比电极分别通过电缆连接至电化学工作站；4)将金属薄膜电极中的一个或多个沉浸在电化学沉积溶液中，并连接至工作电极，从而通过工作电极与电化学工作站相连接，保证至少存在一个金属薄膜电极不与工作电极相连接；5)电化学工作站对与其相连接的金属薄膜电极进行电化学沉积，在金属薄膜电极上形成电化学沉积薄膜；6)电化学沉积完成后，将金属薄膜电极清洗干净；7)采用形貌扫描设备扫描未进行电化学沉积和已进行电化学沉积的金属薄膜电极的表面，得到扫描高度曲线；8)对扫描高度曲线进行拉平，得到去掉倾角的形貌曲线；9)根据去掉倾角的形貌曲线，计算未进行电化学沉积的金属薄膜电极的高度与已进行电化学沉积的金属薄膜电极的高度差，从而得到电化学沉积薄膜的厚度。