[发明专利]一种安全性更好的硅棒生产用真空炉

摘要

本发明公开了一种安全性更好的硅棒生产用真空炉，包括隔温套筒、水冷管、泄压口和出压口，所述隔温套筒安装在真空炉本体上，所述水冷管通过固定件和真空炉本体相互连接，所述泄压口设置在真空炉本体的右侧，且泄压口和固定底座相互连接，所述固定底座的左端设置有进压口，且固定底座的内侧设置有阀门块，所述阀门块的右侧通过连接横杆和固定套筒相互连接，且固定套筒的内部固定有弹性组件，所述连接横杆的外侧安装有支撑筒，所述出压口安装在固定底座上。该安全性更好的硅棒生产用真空炉，能有效的防止热量的流失，更加节能环保，水冷管的使用则能对真空炉进行快速的降温，能对真空炉进行泄压，防止压强过高而发生危险，使用更加安全。

主权项

一种安全性更好的硅棒生产用真空炉，包括隔温套筒（2）、水冷管（5）、泄压口（7）和出压口（15），其特征在于：所述隔温套筒（2）安装在真空炉本体（1）上，且隔温套筒（2）的内部设置有真空层（3），所述水冷管（5）通过固定件（4）和真空炉本体（1）相互连接，且水冷管（5）的两端均和通水管（6）相互连接，所述泄压口（7）设置在真空炉本体（1）的右侧，且泄压口（7）和固定底座（8）相互连接，所述固定底座（8）的左端设置有进压口（9），且固定底座（8）的内侧设置有阀门块（10），所述阀门块（10）的右侧通过连接横杆（11）和固定套筒（12）相互连接，且固定套筒（12）的内部固定有弹性组件（13），所述连接横杆（11）的外侧安装有支撑筒（14），所述出压口（15）安装在固定底座（8）上。