[发明专利]快速响应薄膜压力传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种快速响应薄膜压力传感器及其制造方法，包括敏感芯体、基座、外壳组成，其特征在于所述基座下端外部开有与被测介质管道机械咬合的下螺纹，下端内部开有与所述敏感芯体吻合的基座凸台，上端外部开有与所述外壳吻合的上螺纹；所述外壳下端内侧设计有与所述基座的上螺纹吻合的内螺纹，所述外壳上端中心位置开有过线通孔。敏感芯体安装在基座的凸台位置使其直接接触介质。由于将溅射薄膜压力传感器芯体移至传感器最前端，使介质无需通过介质通道直接作用在敏感芯体上，消除管腔效应，获得传感器较高的响应速度。这样能获得体积小、测量精度高、稳定性好、温度范围宽、响应速度快、生产成本低的高性能薄膜压力传感器产品。

主权项

一种快速响应薄膜压力传感器，包括敏感芯体(1)、基座(2)、套在所述基座(2)上方的外壳(3)组成，其特征在于：所述基座(2)下端外部开有与被测介质管道机械咬合的下螺纹(10)，下端内部开有与所述敏感芯体(1)吻合的基座凸台(12)，上端外部开有与所述外壳(3)吻合的上螺纹(9)，中部外侧设计有六角头(19)；所述六角头(19)上方内侧设计有安装密封圈(17)的密封槽(16)；所述外壳(3)下端内侧设计有与所述基座(2)的上螺纹(9)吻合的内螺纹(8)，所述外壳(3)上端中心位置开有过线通孔(20)，所述外壳(3)顶部通过咬合螺纹(15)安装有锁紧塞(14)。