[发明专利]将焊接附接的MEMS管芯自对准到安装表面的方法有效

专利信息
申请号: 201710969713.2 申请日: 2017-10-18
公开(公告)号: CN108059124B 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: W.C.朗;J.A.奥赫达;G.K.格利;J.L.阮 申请(专利权)人: 盾安美斯泰克股份有限公司
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;B81C3/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 葛青
地址: 美国德*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种将MEMS管芯附接到表面的方法,包括:将预成型焊料居中并旋转对准在本体的焊接表面上,将MEMS管芯居中并旋转对准在预成型焊料上,以及在回流工艺中加热预成型焊料直到焊料熔融,且熔融的焊料的表面张力将MEMS管芯移动到表面张力平衡的位置,且MEMS管芯居中在本体的焊接表面上,并且与本体的焊接表面旋转对准。
搜索关键词: 焊接 mems 管芯 对准 安装 表面 方法
【主权项】:
1.一种将MEMS管芯附接到表面的方法,所述方法包括:将预成型焊料居中并旋转对准在本体的焊接表面上;将MEMS管芯居中并旋转对准在所述预成型焊料上;以及在回流工艺中加热所述预成型焊料直到焊料熔融,且熔融的焊料的表面张力将所述MEMS管芯移动到表面张力平衡的位置,且所述MEMS管芯居中在所述本体的焊接表面上,并且与所述本体的焊接表面旋转对准。
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