[发明专利]负载传感器

摘要

本发明提供一种能够实现测量精度的进一步提高的负载传感器。本发明的一个方式的负载传感器包括形变体、第一光学组件、第二光学组件、检测器和运算部。上述第一光学组件包括光源、来自上述光源的光所入射的第一衍射光栅、受光部。上述第一光学组件固定在上述形变体的第一端部，并配置在上述形变体的中空部中。上述第二光学组件具有通过入射从上述第一衍射光栅射出的衍射光，生成由上述受光部受光的干涉光的第二衍射光栅。上述第二光学组件固定在上述形变体的第二端部，并且配置在上述中空部中。上述检测器检测上述干涉光。上述运算部基于由上述检测器得到的信号，计算上述第二衍射光栅相对上述第一衍射光栅的相对位移量。

主权项

一种负载传感器，其特征在于，包括：形变体，其具有第一端部、与所述第一端部在一个轴方向上相对的第二端部、设置在所述第一端部与所述第二端部之间的中空部；固定在所述第一端部的、并且配置在所述中空部中的第一光学组件，所述第一光学组件具有光源和来自所述光源的光所入射的第一衍射光栅；固定在所述第二端部的、并且配置在所述中空部中的第二光学组件，所述第二光学组件具有因从所述第一衍射光栅射出的衍射光入射而生成干涉光的第二衍射光栅；检测所述干涉光的检测器；和运算部，其基于通过所述检测器得到的信号来计算所述第二衍射光栅相对所述第一衍射光栅的相对位移量。