[发明专利]电致变色器件离子化方法、制备方法及产品有效
| 申请号： | 201710978658.3 | 申请日： | 2017-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN107740059B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 张永夫;俞峰;周海龙;王晓东 | 申请（专利权）人： | 浙江上方电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;G02F1/15 |
| 代理公司： | 33315 杭州知闲专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 黄燕 |
| 地址： | 312300 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电致变色器件离子化方法，该电致变色器件包括阳极电致变色层，对所述阳极电致变色层进行离子化的方法为：在静止的阳极电致变色层上利用旋转靶磁控溅射直接沉积离子层，沉积过程中，保持旋转靶外部的靶材匀速旋转，旋转靶内部的磁棒正对阳极电致变色层进行往复匀速摆动，沉积过程中通过检测阳极电致变色层的透过率控制沉积过程。本发明的有益效果是：在制备电致变色器件时，通过动静态混合镀膜方式使锂靶沉积均匀，在线检测阳极变色层的变色反应可方便时控制变色器件起关键作用的离子源的沉积量，使电致变色器件的制备变得简单有效，有利于电致变色玻璃的产业化。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极 电致变色层 电致变色器件 沉积 旋转靶 离子化 制备 电致变色玻璃 变色反应 变色器件 磁控溅射 镀膜方式 关键作用 静态混合 匀速旋转 在线检测 直接沉积 变色层 产业化 沉积量 离子层 离子源 透过率 摆动 靶材 磁棒 正对 静止 检测 外部 | ||
【主权项】：
1.一种电致变色器件离子化方法，该电致变色器件包括阳极电致变色层，其特征在于，对所述阳极电致变色层进行离子化的方法为：在静止的阳极电致变色层上利用旋转靶磁控溅射直接沉积离子层，沉积过程中，保持旋转靶外部的靶材匀速旋转，旋转靶内部的磁棒正对阳极电致变色层进行往复匀速摆动，沉积过程中通过检测阳极电致变色层的透过率控制沉积过程；离子层采用的离子源为锂或者氧化锂或者过氧化锂中的一种或几种；靶材旋转速度为5～20转/分钟；所述磁棒摆动的角度为100～150°；所述磁棒摆动的速度为5～20°/min；/n磁控溅射过程中的采用含有氧气的氩气的混合气氛，其中氧气的原子百分比含量为0.5％。/n
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