[发明专利]一种背钝化高效p型PERL双面电池的制作方法在审
申请号: | 201710980151.1 | 申请日: | 2017-10-19 |
公开(公告)号: | CN109686814A | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 吴伟梁;汪建强;赵晨;郑飞;陶智华;眭山;张忠卫;阮忠立 | 申请(专利权)人: | 上海神舟新能源发展有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/0236 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 王小荣 |
地址: | 201112 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种背钝化高效p型PERL双面电池的制作方法,该方法包括:将p型硅片通过热氧化进行掩膜、激光消融形成背面图案、丝网印刷硼浆料、高温炉中POCl3沉积PSG、激光掺杂形成选择性发射极,然后在硅片正面沉积SiNx,硅片背面先沉积Al2O3层,再沉积SiNx层,最后丝网印刷烧结正、背面银浆。与现有技术相比,本发明能够实现效率大于22.5%的PERL双面电池技术产业化,不仅提高电池效率,同时因具有双面发电功能,因此也提高了组件的发电能力,简化工艺,从而方便大规模量产。 | ||
搜索关键词: | 双面电池 沉积 丝网印刷 钝化 选择性发射极 技术产业化 背面图案 背面银浆 电池效率 发电能力 硅片背面 硅片正面 激光掺杂 激光消融 双面发电 烧结 高温炉 硼浆料 热氧化 再沉积 量产 掩膜 制作 | ||
【主权项】:
1.一种背钝化高效p型PERL双面电池的制作方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:1)将p型硅片置于HF/HNO3混合溶液中清洗,去除表面损伤层、切割线痕;2)将清洗后的硅片置于碱性溶液中进行制绒,之后进行背面抛光;3)将背面抛光后的硅片进行氧化,使SiO2的厚度为10‑15nm;4)将硅片背面进行纳秒激光开膜;5)在硅片背面进行丝网局域印刷硼浆料,之后在800‑1200℃下退火;6)利用POCl3在硅片正面沉积PSG,并采用皮秒激光掺杂形成选择性发射极;7)在硅片正面先沉积一层高折射率SiNx膜,之后再沉积一层低折射率SiNx膜;8)在硅片背面先沉积一层Al2O3,再沉积一层SiNx,或直接在硅片背面沉积一层SiOx,之后在400‑450℃下退火;9)在硅片正面进行丝网印刷银浆料,在硅片背面印刷银铝浆料,烧结后即可。
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